Elektronowy mikroskop skaningowy

Z Wikipedii

Elektronowy mikroskop skaningowy (SEM - Scanning Electron Microscope) - przyrząd, rodzaj mikroskopu elektronowego, w którym obraz uzyskiwany jest w wyniku "bombardowania" próbki wiązką elektronów, która skupiona jest na przedmiocie w postaci małej plamki. Wiązka omiata obserwowany obszar linia po linii. Układ rejestruje elektrony odbite, przechodzące przez próbkę (pokrytą cienką warstwą złota) lub elektrony wtórne emitowane przez próbkę w wyniku pobudzenia próbki przez elektrony wiązki.

Pierwsze konstrukcje mikroskopu były prostymi konstrukcjami elektronooptycznymi (patrz schemat), obecnie są rozwiniętymi systemami badawczymi, do analizowania własności elektronów oraz promieniowania elektromagnetycznego emitowanego w wyniku bombardowania próbki elektronami. Stosuję się w nich metody wypracowane przez tomografię komputerową do tworzenia obrazów, spektroskopię elektronową i fal elektromagnetycznych.

Zdolność rozdzielcza mikroskopu elektronowego jest znacznie większa od mikroskopu optycznego zależy głównie od wielkości plamki wiązki elektronowej na próbce. Tak samo jak w mikroskopie optycznym również w mikroskopie elektronowym, poza ograniczeniem technicznym (dokładność wykonania układu) istnieje ograniczenie fizyczne ograniczające zdolność rozdzielczą wynikające z dyfrakcji fali de Broglie'a elektronów o długości równej:

, gdzie: h - Stała Plancka, m - masa elektronu, a v - prędkość elektronu.